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臭氧催化氧化技术是一种污废水深度处理技术，是近年来污水处理领域内的应用热点。与臭氧作为单独氧化剂相比，臭氧在催化剂的作用下形成的[·O H]与有机物的反应速率更高、氧化性更强，几乎可以氧化所有的有机物。催化剂可以利用臭氧的强氧化性将水中的有机物直接氧化为CO2和H2O，或者将大分子有机物氧化分解成小分子，使其更容易被分解成小分子，使其更容易被降解。
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